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マスクレス露光装置 PALET

2022.05.01

「フォトリソをもっと身近に!」

 装置コスト1/5で試作効率10倍!?

 マスクレス露光装置 PALET

半導体・センサ等の試作を大幅に効率化
少量多品種のフォトリソグラフィーに最適!

 

 

装置導入に関するこんなお悩みありませんか?
大型の露光設備は高額で手が出ない
場所の確保も容易ではない
マスク準備に時間がかかる (1日~数週間)
試作開発に対して高額な設備投資はなかなか難しい
(フォトマスク製作コスト含む)

 
 
マスクレス露光装置 PALETなら
そのお悩み解決できます

 



 

コンパクト
装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現しました。
もちろんマスクアライナなど追加の露光機は不要です。

※他にノートPCが付属します。加えて電動ステージモデルはステージドライバが付属します。

 

省労力
フローティング構造を採用することで振動を抑制し、防振台不要・真空吸着用エア源内蔵を実現。導入に際して障害となりやすい圧縮エア等のユーティリティを取り除きました。お客様にご用意いただくのは机と100V電源のみです。

※現像環境、及び感光防止環境はご用意ください。

 

手が届く価格設定
圧倒的なコストパフォーマンスを実現しました。さらにマスクレス露光装置としては異例の手動ステージモデルをラインナップ。
初期投資を抑えて研究環境を整えられます。

コストを抑えたいとお考えの場合は・・・・
 手動タイプ 490万円
(日本国内向け参考価格)
作業工数を減らしたいとお考えの場合は・・・
 電動タイプ 900万円
(日本国内向け参考価格)

マスクレス露光装置価格

 

マスクレス露光
フォトマスク不要のため、思いついたパターンをその場で露光できます。

※マスクレス露光とは
フォトマスクを使用せずに画像データで作成したパターンを露光することが可能です。
新規パターン製作時にフォトマスクの製作コストがかかりません。

 
 

製品タイプ

 

マイクロメータ付属
手動ステージタイプ

電動ステージタイプ

4インチ対応大型電動ステージタイプ

※価格についてはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。

全モデル除震フロート機構、ワーク固定用真空引きポンプ内蔵
※4インチ対応モデルのみ、小型除震台付属(別途要コンプレッサー)
 
 

お問合せ

 

課題解決事例

 

【case1】
大型の露光設備は高額で手が出せず、場所の確保も容易ではない。又、マスク準備期間に時間がかかる。

-Before-
今までは期限前に3~5種類程度の露光が限界。

-After-
1週間程度で50種類近くの露光・試作を達成。

 

試作効率がおよそ10倍に!

【case2】
試作開発に対して高額な設備投資はなかなか難しい。(フォトマスク製作コスト含む)

-Before-
試作用フォトマスクの製作に2年間で多額(1000万円弱)の投資。

-After-
フォトマスク分の費用を他の研究設備に投資

フォトマスク製作コスト削減
(マスクレス露光装置1台分に相当)

 

お気軽にお問合せ下さい

 

製品詳細

 

企業情報

 

 会社名 ネオアーク株式会社
 会社設立 1976年3月22日
 資本金 資本金
 資本金 資本金
 役員 代表取締役 阪江 修
取締役   波多野 智
取締役   寺原 俊昭
監査役   田村 康久(社会保険労務士)
 従業員数 49名(2017年7月 現在)
 事業内容 レーザ光源、レーザ計測システム、 レーザ検査システム、
レーザ応用機器システム、 光磁気計測システム、 高周波、マイクロウェーブ用抵抗器、
その他関連機器、 及び情報処理に関するソフト等の製造販売、並びに輸出入

 

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