装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現しました。
もちろんマスクアライナなど追加の露光機は不要です。

※他にノートPCが付属します。加えて電動ステージモデルはステージドライバが付属します。

フローティング構造を採用することで振動を抑制し、防振台不要・真空吸着用エア源内蔵を実現。導入に際して障害となりやすい圧縮エア等のユーティリティを取り除きました。お客様にご用意いただくのは机と100V電源のみです。

※現像環境、及び感光防止環境はご用意ください。

圧倒的なコストパフォーマンスを実現しました。さらにマスクレス露光装置としては異例の手動ステージモデルをラインナップ。
初期投資を抑えて研究環境を整えられます。

コストを抑えたいとお考えの場合は・・・・
　手動タイプ　490万円（日本国内向け参考価格）
作業工数を減らしたいとお考えの場合は・・・
　電動タイプ　900万円（日本国内向け参考価格）

フォトマスク不要のため、思いついたパターンをその場で露光
できます。

※マスクレス露光とは
フォトマスクを使用せずに画像データで作成したパターンを露光することが
可能です。
新規パターン製作時にフォトマスクの製作コストがかかりません。