傷検査用スキャニングレーザ”LaScan”は、マイクロサイズのレーザラインをスキャンさせて、広いエリアの微小な傷を瞬時に検出することが可能な光源です。半導体ウェハ、ハードディスク基板、およびDVDディスクなどの検査装置に組み込んでご使用いただけます。
広いエリアの傷を瞬時に検出
ミクロンサイズのレーザライン
高速スキャニング
超小型（W52mm×D56mm×H66mm）
ラインサイズのカスタム対応
光学系
傷サンプル
傷検出信号
【主な仕様(暫定値)】
| レーザ波長 | 450nm 520nm 650nmなど |
| レーザ出力 | 50mW(最大) |
| ライン幅 | 50µｍ |
| ライン長 | 100µｍ |
| 作動距離 | 100mm |
| スキャン角度 | ±10度 |
| スキャン周波数 | 60Hz(最大) |
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