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「サニャック干渉計振動観察装置」プローブ対応についてのお知らせ -Sagnac vibrometer- Wafer probing is now available.

2020.07.21

  サニャック干渉計振動観察装置は、サニャック干渉計を導入した光プロービング法による振動観察装置です[1]。
プローブ光であるレーザビームの非接触走査によって、高周波の振動分布を可視化いたします。この測定方法は
千葉大学の橋本教授らの研究により、GHz 帯で動作する弾性波デバイス(SAW IDT、FBAR 等)の解析のための
実用的な装置として開発されました[2]。ネオアークは早くから橋本教授らの装置開発に関わることで、
サニャック干渉計振動観察装置の商品化に成功いたしました。

Sagnac vibrometer

  SAGNAC VIBROMETER was developed with an optical probing technique based on
a Sagnac interferometer which is optimized to measure very high frequency vibration [1].
This measurement method was put into practical use by Prof. Hashimoto et al. of Chiba
university in order to diagnose RF surface and bulk acoustic wave devices [2]. Our Sagnac
Vibrometer is specially designed for a purpose of vibration distribution analysis of MEMS
devices that are mainly operated for signal filtering, such as high frequency driven Surface
Acoustic Wave (SAW) Interdigital Transducers (IDT) and Bulk Acoustic Wave (BAW) Filters.
This system visualizes motion of vibration amplitude and phase of a target’s surface
from interference signal by scanning laser.


FBAR animations driven under difference GHz-frequencies

  

  この度、サニャック干渉計振動観察装置にプローブ対応のオプションを
追加いたしました。ウェハの段階から弾性波デバイスの振動観察が可能
となりました。お客様の設計開発、品質検査、故障診断などに、従来にも
増して本装置をご活用いただけます。

  Now, we announce a WAFER PROBING option to our Sagnac vibrometer.
Acoustic wave of a wafer chip can be observed with easy operation.
You can use the vibrometer for your design development, quality inspection,
failure diagnosis, etc. more than ever before.

 

[1] G. I. Stegman “Optical probing of surface waves and surface wave devices,” IEEE Trans. Sonics Ultrason., vol. 23, no. 3, pp. 33-63, 1976.
[2] Ken-ya Hashimoto et al. “A laser probe based on a Sagnac interferometer with fast mechanical scan for RF surface and bulk acoustic wave devices,” IEEE Trans. Sonics Ultrason., vol. 58, no. 1, pp. 187-194, 2011.

 

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