3次元形状レーザ露光装置

3次元形状へのフォトリソグラフィを実現！

フォトリソグラフィは幅広い分野で活用されていますが、一般的に平面ワークに対して行われています。しかし、デバイスの小型化、高性能化、デザイン性向上への対応は著しく、今までの平面に対するフォトリソグラフィでは不十分な状況が増えてきており、3次元形状へのフォトリソグラフィの実現が期待されてきました。

本装置は5軸ステージを制御することで様々な3次元形状のワークに対して任意のパターンをマスクレスで露光することが可能となり、次世代の製品を見据えた研究開発に活用することができます。

3次元形状レーザ露光装置紹介動画

従来のXYZ直動ステージでは3次元形状ワークの露光点に対して入射角が変化してしまい露光品質に差が生じてしまいます。

直動3軸+回転2軸の5軸ステージを採用することによって、3次元形状ワーク上の任意の点に対してレーザ入射角を一定に保ちつつ自由に照射することが可能となりました。

直動3軸+最大5軸の同時補間動作＋フィードバック制御を行うことにより、等速度運動が実現され、高精度のパターニングが可能となります。

ワークやデリケートなレジストにダメージを与えることない非接触でワークの取り付け誤差の補正やパターニング中の焦点補正を行います。

観察用カメラによるコントラスト方式オートフォーカスを多点数実施することで、ワークの取り付け角度の誤差を算出して補正を行います。

赤色レーザによる三角測量方式オートフォーカスを用いてパターニング中に発生するフォーカス誤差を算出してリアルタイム補正を行います。

円柱外周へのパターニングに特化した円柱露光タイプを用意しました。

ワークの芯だし機構を搭載し、回転ステージを対向に配置することで長いワークで起きやすいタレ等のワークの歪みを引っ張り抑制することが可能となります。

高精細3D形成で、次世代の人間中心型デバイスやセンサーを実現します。

微細な3D構造を高速かつ高精度に加工し、高性能マイクロエレクトロニクス製品に貢献します。

精密な3Dパターン作成により、自動運転向け高性能センサーやカメラの基盤を支援します。

バイオ素材の微細構造形成やマイクロ流体システムへの応用で、新たな医療研究を促進します。

ステージ構成	5軸ステージ XY軸：直進 300mmストローク Z軸：直進 200mmストローク Α軸：回転 360° Β軸：回転 90°
最大ワークサイズ	1辺が100mm以下の立方体
装置構成	装置本体・制御パソコン・専用ソフトウェア
装置寸法	W1000 × H1800 × D900(mm)

露光光源	375nm 半導体レーザ
対物レンズ	NUV 専用設計2倍 / NUV 10倍
最小露光線幅	10μm 以下 ※使用対物レンズおよびレジスト種類およびレジスト厚によって変わります。

オートフォーカス	露光時：赤色レーザによる三角測量方式アライメント時：カメラ画像によるコントラスト方式
最小露光線幅	ワーク取り付け誤差補正(ワーク位置・角度アライメント)機能観察機構