振動測定装置／速度センサ
振動測定装置／速度センサとは
振動測定装置／速度センサは、非接触で表面の動きや振動速度を正確に測定できる高性能センサーです。
工場の設備点検や故障予測、品質管理に最適で、安全かつ迅速な測定を実現します。
工場の設備点検や故障予測、品質管理に最適で、安全かつ迅速な測定を実現します。
表面速度センサの紹介動画
表面速度センサ ipSPEEDOR (アイピースピーダ)
レーザで手軽に速度と距離を計測
移動する表面の「速度と移動距離」を連続計測・出力するセンサ。
特長／用途
- 周波数トラッカーに受光レベルのインジケータを備えているので、センサの位置合わせが容易
- ヘッドが小型なので、製造ラインなどに複数台（１台～）設置が可能
- インジケータで感度確認が出来るので、取付位置の調整が容易
- エンコーダ等と違ってレーザは非接触なので、ワークを傷つけない
仕様
| 概要 | ・ipSPEEDOR（in-plane speed and distance sensor） ・面内方向（レーザ照射軸に対して直交する方向）の移動を連続計測・出力 ・レーザドップラ効果を利用して対象物からの散乱反射光を受光し計測 ・単一周波数によるホモダイン干渉を利用してヘッドを小型化・低価格化 |
|---|---|
| 検出表面速度範囲 | 0.03m/sec ～ 3.5m/sec (1.8m/min ～ 210m/min) |
| 移動距離分解能 | 標準10μm（最小ピッチ間隔1.1μmも使用可能） |
| 測定深度 | ±1.5mm |
| 検出エリア | 40μm×2.5mm(作動距離中点のビーム形状) |
| 出力信号 | ①表面速度※表面速度に比例したアナログ電圧 ②移動距離※ピッチ信号（一定移動距離ごとのパルス列） |
| 出力形式 | ①表面速度：速度電圧係数(m/sec)/V を出力（BNCコネクタより） ②移動距離：ラインドライバにて出力（D-subコネクタより、AM26C31） |
| 使用レーザ | 波長：780nm 安全クラス：3R |
| センサヘッド寸法 | 30mm(W)×102.5mm(D)×35.5mm(H) |
| 寸法／ 重さ | （センサヘッド）W 30mm × H 35.5mm × D 102.5mm ／ 約200 g （コントローラ）W 244mm × H 114mm × D 290mm ／ 約3.5 kg （ケーブル長）3m ※センサヘッドとコントローラ間／ 約160 g |
※本製品は開発中につき、仕様は変更される場合がございます。
光ヘテロダイン微小振動測定装置
レーザのドップラ効果を用いて、
微小振動の周波数と振幅を測定する装置
特長／用途
- 高剛性の筺体により、デスクトップながら200MHzの振動を精密に測定可能
- 縦(面外)振動と横(面内)振動の測定が可能
- 操作性の良い顕微鏡光学系と直感的な信号出力
- ソフトウェアにより振動解析、アニメーション化などが可能（オプション）
- MEMSデバイス、水晶振動子、SAWデバイスなどの振動解析
仕様
| 応答周波数 | 1~200MHz |
|---|---|
| 最大測定速度 | 5m／s |
| 測定スポット径 | 約φ10μm |
